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上海青銳真空設備有限公司

Shanghai Qing Rui Vacuum Equipment Co., Ltd.

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直流脈沖產品套件

AE 的脈沖產品系列具有各種功能,能夠滿足您所有的困難和各式各樣的工藝要求。這個靈活的直流脈沖附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個系列的每一項產品在設計上均具有相當的特點,能夠針對反應和直流濺射提供經證實的優勢。

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AE 的脈沖產品系列具有各種功能,能夠滿足您所有的困難和各式各樣的工藝要求。這個靈活的直流脈沖附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個系列的每一項產品在設計上均具有相當的特點,能夠針對反應和直流濺射提供經證實的優勢。


AE 的脈沖產品系列具有各種功能,能夠滿足您所有的困難和各式各樣的工藝要求。這個靈活的直流脈沖附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個系列的每一項產品在設計上均具有相當的特點,能夠針對反應和直流濺射提供經證實的優勢。

優勢
精密調節功能
提高產率
減少靶材燒入時間
高可靠性
簡單維護和置換

特點
出色的弧控制——在很多情況下,弧完全被消除。
離子能量更高
更大功率運行
基材溫度更低
靶材溫度更低
工藝靈活性和寬容度
系統整合容易
雙陰極功能(Astral? 產品


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